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陶瓷坩堝廣泛應(yīng)用于多晶硅生產(chǎn)中。其獨(dú)特的均質(zhì)結(jié)構(gòu)和稍高的孔隙率使產(chǎn)品具有良好的熱震穩(wěn)定性和較強(qiáng)的抗裂能力。特別適合噴涂氮化硅涂層,不易剝落。
坩堝模具加工精度高,使用壽命長(zhǎng),坩堝尺寸一致性好。壁厚可以根據(jù)需要精確控制,上下厚度基本相等,有利于鑄錠過(guò)程中溫度場(chǎng)的合理分布,能夠更好地滿足鑄錠工藝對(duì)坩堝外觀尺寸的具體要求,提高鑄錠質(zhì)量。根據(jù)多晶硅鑄錠的工藝要求,坩堝側(cè)壁在熔融硅材料的晶體生長(zhǎng)過(guò)程中具有一定的保溫性效果,且受熱均勻,所以從理論上講,側(cè)壁較厚、上下均勻的坩堝有利于硅材料的晶體生長(zhǎng)。