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石墨坩堝制造商介紹，組合式多晶硅提純凝固坩堝由外坩堝和內(nèi)坩堝組成，內(nèi)坩堝套在外坩堝內(nèi)，由石墨制成的圓柱形內(nèi)坩堝由幾個相同的分塊拼接而成。內(nèi)坩堝外表面加工成錐形，圓柱形外坩堝內(nèi)表面加工成與內(nèi)坩堝外表面相匹配的錐形，內(nèi)坩堝底部分與坩堝底相匹配
在坩堝底，周圍加工出可與內(nèi)坩堝底零件相配合的凸臺，內(nèi)坩堝底零件的端面與凸臺支撐面緊密接觸，內(nèi)坩堝底零件的內(nèi)表面與凸臺側(cè)面緊密接觸。
內(nèi)坩堝的內(nèi)表面和內(nèi)坩堝中的坩堝底表面設(shè)有氮化硅涂層。采用這種結(jié)構(gòu)，由于內(nèi)坩堝由多個相同的拼合塊拼接而成，而外坩堝由普通石墨制成，因此在多晶硅定向凝固時，內(nèi)坩堝的拼合塊沿拼接位置拼合，從而保證了內(nèi)坩堝的完整性，成本高，延長了內(nèi)坩堝的使用壽命。實測表明，生產(chǎn)每噸多晶硅產(chǎn)品的坩堝成本從4萬元降低到8000元，節(jié)約坩堝成本3.2萬元。
