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如何確定金坩堝的尺寸和形狀
如何確定坩堝的尺寸和形狀?這不是一件理所當(dāng)然的事情。
金試驗用坩堝尺寸(或體積)的確定取決于晶體生長的直徑和長度,拉晶過程中對坩堝-晶體直徑比的要求也要考慮。一般耗盡與晶體直徑之比為3:1。原因是它與熔體直接接觸,熔融硅與金試驗坩堝中的sio:反應(yīng)生成sio后,擴(kuò)散到熔體中,同時在熔體表面揮發(fā),最后一部分到達(dá)固液界面附近,混入生長的晶體中,從而增加單晶中的氧含量。渦流與晶體直徑的比值越大,越有利于氧氣的揮發(fā)。因此,在拉制直徑為80mn、長度為7的硅單晶時。000毫米,我們確定渦流增強(qiáng)的直徑為224毫米,高度為190毫米。
根據(jù)坩堝的力學(xué)性能,川:的抗壓強(qiáng)度為8004-8500 (WC kg/cm2),斷裂強(qiáng)度為710-1040(200C kg/cm’),抗彎強(qiáng)度為700-1100 (200C kg/cml),抗扭強(qiáng)度為304-600 (20 C kg/CML)同時,為了保持原始的耗盡與晶體直徑之比(3:I)它的外形尺寸和形狀如如圖一號所示,如果使用球底琳A,在保證耗盡與晶體直徑之比(3,333,601)的情況下,耗盡的邊角料會超過平底林,顯然不利于提高單晶的產(chǎn)量和回收率。